ENTEGRIS英特格，Chambergard气体扩散器

美国ENTEGRIS英特格产品和解决方案包括：
净化气体、流体和周围工厂环境的过滤产品
分配、控制、分析或运输过程流体的液体系统和组件
安全储存和输送有毒气体的气体输送系统
用于先进节点沉积和清洁的特殊化学品
 
保护半导体晶圆免受污染和破损的晶圆载体和托运人
提供高纯度表面以实现耐磨、防腐蚀和光滑的特种涂层
用于高性能应用的优质石墨和碳化硅
用于保护和运输磁盘驱动器组件的托运人和托盘。公司情况说明书
致力于通过广泛的解决方案组合、协作和创新的产品开发以及对科学和应用知识的关注来解决客户最苛刻的工艺挑战。
Chambergard  气体扩散器
快速排气扩散器，不会在工艺室中引入或干扰颗粒。
Chambergard  快速排气扩散器可快速排气至大气，而不会干扰或向腔室中的晶片添加颗粒，通过最大限度地减少负载锁定排气循环时间来提高系统吞吐量。它们将扩散器的流动特性与高效过滤器相结合，以提高效率和吞吐量。
 Chambergard  FV50D XL 气体扩散器
Chambergard FV50 气体扩散器可快速减少负载锁定和传输室中的颗粒和排气时间，并具有高效且坚固的镍盘膜。
入口连接
1/4" VCR  兼容公垫圈密封接头
插座连接
ISO NW50 隔板安装与标准 ISO 隔板夹兼容
行业
半导体 平板显示器 数据存储 引领
过程
散装气体输送 沉积 干蚀刻 离子注入
Chambergard  快速排气扩散器
Chambergard  快速排气扩散器可减少负载锁定和传输室中的颗粒和排气时间。实现快速排气，而不会干扰或向晶片添加颗粒。
行业
半导体 平板显示器 数据存储 引领
过程
散装气体输送 沉积 干蚀刻 离子注入
Chambergard  BGN 快速排气扩散器
Chambergard  BGN 快速排气扩散器可提供高通量和快速排气到大气。获得专利的烧结镍滤芯可快速扩散进入的气流。
入口连接
密封垫片 对接焊缝
插座连接
ISO NW 隔板安装兼容真空法兰 无（无法兰）
行业
半导体 平板显示器 数据存储 引领
过程
散装气体输送 沉积 干蚀刻 离子注入
 

通过减少负载锁定和传输室中的颗粒和排气时间来提高效率和吞吐量。

获得专利的烧结镍技术可在所有应用中提供卓越的性能
设计能够从进入的气体中去除大于 0.0015 µm 的颗粒，从而最大限度地减少晶圆缺陷
提供快速排气，而不会干扰或向晶圆添加颗粒，减少循环时间，同时提高产量
将扩散器的流动特性与高效过滤器相结合，以提高效率和吞吐量
易于改装/安装到现有工具中，最大限度地减少停机时间。
WG3D16TR2
WG3D228R2    
WG3D25LR2
WG3D25SR2    
WG3D350R2    
WG3D35BW2
WG3D3LBW2
WG3D401R2
WG3D40DR2    
WG3D40TR2    
WG3D50DR2