特种气体
特种气体是指稀有气体或超高纯度（99.995% 以上）的气体。包括分析、医药、电子及石油化工在内的许多行业都会受益于特种气体的独特性质，它有助于提高产量、优化性能以及降低成本。我们富有经验的应用团队遍布全球，可以根据对您的行业和应用情况的了解，为您提供特种气体供应解决方案，以满足您的独特需求。
Gasketgard
在线垫片过滤器
Gasketgard 在线垫圈过滤器是一种紧凑型全金属过滤器，可与标准 1/4"、3/8" 和 1/2" VCR 垫圈配合使用。
合身尺寸
1/4" 1/2" 3/8"
长度
25 毫米（0.98 英寸） 25.25 毫米（0.99 英寸） 29.5 毫米（1.16 英寸）
行业
半导体 平板显示器 数据存储 引领
过程
散装气体输送 薄膜 沉积 干蚀刻 离子注入 光刻
Gasketgard 在线垫片过滤器
Gasketgard 在线垫圈过滤器是一种紧凑型全金属过滤器，可代替标准的 1/4"、3/8" 和 1/2" VCR 垫圈。
保持器便于对齐
设计用于轻松插入标准气体管线
非常适合高压和高温应用
保护关键部件免受颗粒物损坏
在世界一流的 ISO 认证设施中制造
应用
Gasketgard 在线垫片过滤器应用
用于最高 400°C (752°F) 的应用
用于保护敏感气体成分
适用于高压和高温应用
产品规格
材料： 焊接到 316L 不锈钢垫片上的烧结 316L 不锈钢过滤介质
保持器 316 不锈钢
颗粒保留： 去除所有大于 0.3 µm 直径的颗粒超过 95%
运行条件： 最大压差 1⁄4” P1: 5.1 MPa (51 bar, 740 psid)
1⁄4” P2: 10.4 MPa (104 bar, 1508 psid)
1⁄2” P1: 1.7 MPa (17 bar, 247 psid)
1⁄2” P2 : 2.9 兆帕 (29 巴, 421 psid)
最高工作温度 400°C (752°F) [惰性气体]
零件号
Gasketgard 在线垫片过滤器部件号
零件号 接头尺寸和类型 长度
WGPM0GGG2 1/4" 型 25.00 毫米（0.98 英寸）
WGPM0GGT2 1/4" 型带保持器 25.25 毫米（0.99 英寸）
WGPM0GGT4 1/2" (3/8") 型带保持器 29.50 毫米（1.16 英寸）
Gasketgard 在线垫片过滤器
Gasketgard 在线垫圈过滤器是一种紧凑型全金属过滤器，可与标准 1/4"、3/8" 和 1/2" VCR 垫圈配合使用。
合身尺寸
1/4" 1/2" 3/8"
长度
25 毫米（0.98 英寸） 25.25 毫米（0.99 英寸） 29.5 毫米（1.16 英寸）
行业
半导体 平板显示器 数据存储 引领
过程
散装气体输送 薄膜 沉积 干蚀刻 离子注入 光刻
Gasketgard 在线垫片过滤器
Gasketgard 在线垫圈过滤器是一种紧凑型全金属过滤器，可代替标准的 1/4"、3/8" 和 1/2" VCR 垫圈。
保持器便于对齐
设计用于轻松插入标准气体管线
非常适合高压和高温应用
保护关键部件免受颗粒物损坏
在世界一流的 ISO 认证设施中制造
应用
Gasketgard 在线垫片过滤器应用
用于最高 400°C (752°F) 的应用
用于保护敏感气体成分
适用于高压和高温应用
产品规格
材料： 焊接到 316L 不锈钢垫片上的烧结 316L 不锈钢过滤介质
保持器 316 不锈钢
颗粒保留： 去除所有大于 0.3 µm 直径的颗粒超过 95%
运行条件： 最大压差 1⁄4” P1: 5.1 MPa (51 bar, 740 psid)
1⁄4” P2: 10.4 MPa (104 bar, 1508 psid)
1⁄2” P1: 1.7 MPa (17 bar, 247 psid)
1⁄2” P2 : 2.9 兆帕 (29 巴, 421 psid)
最高工作温度 400°C (752°F) [惰性气体]
零件号
Gasketgard 在线垫片过滤器部件号
零件号 接头尺寸和类型 长度
WGPM0GGG2 1/4" 型 25.00 毫米（0.98 英寸）
WGPM0GGT2 1/4" 型带保持器 25.25 毫米（0.99 英寸）
WGPM0GGT4 1/2" (3/8") 型带保持器 29.50 毫米（1.16 英寸）
ENTEGRISWGPMOGGT21.00
ENTEGRISWGFGT1PR12.00过滤器
ENTEGRISWGPM0GGG210.00过滤器
EntegrisWG2FT1SS23.00过滤器
EntegrisWG2FT1SS22.00过滤器
ENTEGRISWGMXMSRR41.00过滤器
ENTEGRISWGMXMSRR22.00
EntegrisWG2FT1RR22.00过滤器
EntegrisWG2FT1RR21.00过滤器
EntegrisWG2FT1RR210.00过滤器
EntegrisWG2FT1RR210.00过滤器
ENTEGRISWGMXMSRR2（无包装）2.00
ENTEGRISWG3NSMSL22.00过滤器
ENTEGRISWG3NSMSL22.00
ENTEGRISWG3NSMSL24.00
ENTEGRISCBUG0S0S12.00过滤器
ENTEGRISWG3NS8RR21.00过滤器
ENTEGRISWGMXMPRR42.00
ENTEGRISWGMXMPSS32.00
ENTEGRISWG2F02RR42.00
ENTEGRISWGFGT1PR130.00过滤器
ENTEGRISWGFGT1PR145.00过滤器
ENTEGRISWGPM0GGT43.00过滤器
ENTEGRISWGPM0GGG229.00过滤器
ENTEGRISWG2F02RR21.00
ENTEGRISWGFG21KP01.00过滤器
ENTEGRISWGFGMBRR21.00过滤器
ENTEGRISWGPMOGGT2
ENTEGRISWGFGT1PR1过滤器
ENTEGRISWGPM0GGG2过滤器
ENTEGRISWG3NS1RR2过滤器
EntegrisWG2FT1SS2过滤器
EntegrisWG2FT1SS2过滤器
ENTEGRISWGMXMSRR4过滤器
ENTEGRISWGMXMSRR2
EntegrisWG2FT1RR2过滤器
EntegrisWG2FT1RR2过滤器
EntegrisWG2FT1RR2过滤器
EntegrisWG2FT1RR2过滤器
ENTEGRISWGMXMSRR2（无包装）
ENTEGRISWG3NSMSL2过滤器
ENTEGRISWG3NSMSL2
ENTEGRISWG3NSMSL2
ENTEGRISCBUG0S0S1过滤器
ENTEGRISWG3NS8RR2过滤器
ENTEGRISWGMXMPRR4
ENTEGRISWGMXMPSS3
ENTEGRISWG2F02RR4
ENTEGRISWGFGT1PR1过滤器
ENTEGRISWGPMOGGT2
ENTEGRISWGFGMBRR4过滤器
ENTEGRISWGFGMBRR4过滤器
ENTEGRISWGFGT1PR1过滤器
ENTEGRISWGFGT1PR1过滤器
ENTEGRISWGPM0GGT4过滤器
ENTEGRISWGPM0GGG2过滤器
ENTEGRISLGMXFPRR4
ENTEGRISWGFA21KP0过滤器
ENTEGRISWGPMOGGT2
ENTEGRISWGFGT1PR1过滤器
ENTEGRISWGPM0GGG2过滤器
ENTEGRISWG3NS1RR2过滤器
EntegrisWG2FT1SS2过滤器
EntegrisWG2FT1SS2过滤器
ENTEGRISWGMXMSRR4过滤器
ENTEGRISWGMXMSRR2
EntegrisWG2FT1RR2过滤器
EntegrisWG2FT1RR2过滤器
EntegrisWG2FT1RR2过滤器
EntegrisWG2FT1RR2过滤器
ENTEGRISWGMXMSRR2（无包装）
ENTEGRISWG3NSMSL2过滤器
ENTEGRISWG3NSMSL2
ENTEGRISWG3NSMSL2
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ENTEGRISWGMXMPRR4
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ENTEGRISWGFGT1PR1过滤器
ENTEGRISWGPMOGGT2
ENTEGRISWGFGMBRR4过滤器
ENTEGRISWGFGMBRR4过滤器
ENTEGRISWGFGT1PR1过滤器
ENTEGRISWGFGT1PR1过滤器
ENTEGRISWGPM0GGT4过滤器
ENTEGRISWGPM0GGG2过滤器
ENTEGRISLGMXFPRR4
ENTEGRISWGFA21KP0过滤器
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CR1001006，CR1001T06，CR1002006，CR1002T06，CR1002V06，CR1003006，CR1003V06，CR1004006，CR1053006，CR1054V06，CR1071006，CR1071E06，CR1071T06，CR1072006，CR1072T06，CR1072V06，CR1073006，CR1073T06，CR1073V06，CR1074006，CR10F1006，CR10F1P06，CR10F1T06，CR10F2006，CR10F2C06，CR10F2P06，CR10F3006，CR10F3P06，CR10F4006，CR10F4P06，CR10M0203，CR2501006，CR2501T06，CR2501V06，CR2502006，CR2503006，CR2553V06，CR2571006，CR2571T06，CR2572006，CR2572E06，CR2572T06，CR2573006，CR2573V06，CR2574006，CR25F1006，CR25F1P06，CR25F2006，CR25F2P06，CR25F3006，CR25F3P06，CR25F4006，CR25F4P06，CR25M0203，CR5001006，CR5001T06，CR5001V06，CR5002006，CR5003006，CR5071006，CR5072006，CR5073006，CR50F1006，CR50F2006，CR50F3006，CR50F4006，CR50M0203，CR7501006，CR7502006，CR7503006，CR7571006，CR7572006，CR7573006，CR75F1006，CR75F1P06，CR75F2006，CR75F3006，CR75F4006，CR75M0203，CR9901006，CR9902006，CR9903006，CR9951006，CR9971006，CR9971T06，CR9971V06，CR9972006，CR9973006，CR99F1006，CR99F2006，CR99F3006，CR99F3P06，CR99F4006，CR99M0203，CRA501006，CRA501T06，CRA501V06，CRA502006，CRA502T06，CRA503006，CRA503T06，CRA504006，CRA551006，CRA552006，CRA553006，CRA554V06，CRA571006，CRA572006，CRA573006，CRA573E06，CRA573T06，CRA573V06，CRA574006，CRA5F1006，CRA5F1C06，CRA5F1P06，CRA5F2006，CRA5F2C06，CRA5F2P06，CRA5F3006，CRA5F3P06，CRA5F4006，CRA5F4P06，CRA5M0203，CFDVUPXSF，CFDZUPXSF
，、
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