美国ENTEGRIS应特格，WG3NS8RR2现货，Wafergard? III NF Micro XL 在线气体过滤器
美国ENTEGRIS英特格，过滤器WGPM0GGG2，现货
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为超纯气体系统过滤提供卓越的微粒过滤，是高温和动态压力应用的理想选择。
最先进的外壳组件通过最小化焊接区域来消除除气
全金属结构是高温和动态压力应用的理想选择
紧凑的尺寸和灵活的配件选择提供了最高的设计效率并最大限度地降低了工程成本
应用
Wafergard III NF Micro XL 在线气体过滤器应用
超纯气体管线
高温应用
新工厂建设
动压应用
惰性和活性气体
产品规格
材料 滤芯 烧结镍膜过滤器
住房 电抛光 VAR316L 不锈钢外壳
下游清洁度 粒子 <0.03 颗粒/升（<1 颗粒/ft 3） >0.01 μm
挥发物 Volatile outgassing of H2O, O2, and THC is below detectable limits (by RGA and FID at room temperature)
Removal rating ≥0.0015 μm
Surface finsh interior ≤5 μin Ra
Helium leak rating Qualified 2 × 10-10 atm-ccc.
Tested 1 × 10-9 atm-ccc.
Maximum operating conditions: Maximum inlet pressure 20 MPa (200 bar, 2900 psid) at 20°C (68oF)
Design pressure 20 MPa (200 bar, 2900 psid) at 20°C (68oF)
Maximum forward/reverse differential pressure 1 MPa (10 bar, 150 psid)
Maximum operating temperature Inert gases 400°C (725°F) @ 35 bar (500 psi)
Corrosive and reactive gases 50°C (122°F) @ 70 bar (1000 psi)
Warranty 5 year
Particle retention Greater than 99.9999999% (9 LRV) removal of all particles at 15 slpm
Flow rating Refer to performance data
零件号
Wafergard III NF Micro XL 在线气体过滤器部件号
零件号 接头尺寸和类型 长度
.特种气体
特种气体是指稀有气体或超高纯度（99.995% 以上）的气体。包括分析、医药、电子及石油化工在内的许多行业都会受益于特种气体的独特性质，它有助于提高产量、优化性能以及降低成本。我们富有经验的应用团队遍布全球，可以根据对您的行业和应用情况的了解，为您提供特种气体供应解决方案，以满足您的独特需求。
Gasketgard 在线垫片过滤器
Gasketgard 在线垫圈过滤器是一种紧凑型全金属过滤器，可与标准 1/4"、3/8" 和 1/2" VCR 垫圈配合使用。
合身尺寸
1/4" 1/2" 3/8"
长度
25 毫米（0.98 英寸） 25.25 毫米（0.99 英寸） 29.5 毫米（1.16 英寸）
行业
半导体 平板显示器 数据存储 引领
过程
散装气体输送 薄膜 沉积 干蚀刻 离子注入 光刻
Gasketgard 在线垫片过滤器
WG3NS8RR2 1/4" 垫圈密封件（与 VCR 接头兼容）外螺纹入口/出口 84.1 毫米（3.31"）
WG3NS8RR2P 1/4" 垫圈密封（与 VCR 接头兼容）外螺纹入口/出口，接头用塑料盖代替金属盖保护 84.1 毫米（3.31"）
WG3NS8SL2 1/4" 密封垫圈（与 VCR 接头兼容）外螺纹入口/出口，短型 50.8 毫米（2.00"）
Wafergard MAX 在线 PTFE 气体过滤器
这些在线 PTFE 气体过滤器与高纯度气体兼容，并在 超纯气体应用 以及 一般氮气和 CDA 应用中提供卓越的颗粒过滤。
PTFE 滤芯在超纯应用中表现出色
专为高流量和低增量压力应用而设计
用于惰性和反应性气体，包括臭氧
为快速启动而预先调节（仅限银色）
应用
Wafergard MAX 在线 PTFE 气体过滤器应用
兼容所有类别的半导体工艺气体
与一般氮气和 CDA 应用兼容
产品规格
材料 滤芯 由模压 PFA 结构支撑的疏水 PTFE 膜
住房 电抛光低硫 316L 不锈钢外壳
下游清洁度 粒子 小于 0.03 个颗粒/升 (<1 个颗粒/ft 3 ) 大于 0.01 μm
挥发物（银） <10 ppb H 2 O 和 O 2。低于 LDL THC（检测下限为 5 ppb）
移除等级 ≥0.0015 微米
表面处理内部 WGMX（青铜）MB XXXX ≤20 μin Ra
WGMX（银/青铜加）MS XXX/XXX ≤7 μin Ra
氦泄漏等级 合格的 2 x 10 -10 atm-cc/秒
经过测试 1 x 10 -9 atm-cc/秒
运行条件
最大入口压力
Silver 和 Bronze Plus 1?4" 和 1?2" VCR 兼容接头：7.0 MPa (70 bar, 1015 psig)
青铜 1?4" 和 1?2" VCR 兼容接头：6.0 MPa (60 bar, 870 psig)
Bronze 和 Bronze Plus 1?4"、3?8" 和 1?2" Swagelok 兼容接头：6.0 MPa (60 bar, 870 psig)
最大正向压差 7 巴 (102 psid)
最大反向压差 2.5 巴 (36 psid)
最高工作温度 120°C (248°F)
流量等级 参考性能数据
保修单 青铜 1年
银 3年
颗粒保留 大于 99.9999999% (9 LRV) 去除所有颗粒（参考最具穿透性的颗粒尺寸）
零件号
Wafergard MAX 在线 PTFE 气体过滤器部件号
零件号 接头尺寸和类型 长度
WGMXMBPRF2 1/4" 公 VCR 入口，1/4" 母 VCR 出口 141.2 毫米（5.6 英寸）
WGMXMBRR2 1/4" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMBRR4 1/2" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMBSS2 1/4" 世伟洛克112.7 毫米（4.44 英寸）
WGMXMBSS3 3/8" 世伟洛克117.9 毫米 (4.64)
WGMXMBSS4 1/2" 世伟洛克118.7 毫米（4.67 英寸）
WGMXMPRR2 1/4" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMPRR4 1/2" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMPSS2 1/4" 世伟洛克112.7 毫米（4.44 英寸）
WGMXMPSS3 3/8" 世伟洛克117.9 毫米 (4.64)
WGMXMPSS4 1/2" 世伟洛克118.7 毫米（4.67 英寸）
WGMXMSBW2 1/4" 对焊管 133.4 毫米（5.25 英寸）
WGMXMSBW3 3/8" 对焊管 133.4 毫米（5.25 英寸）
WGMXMSBW4 1/2" 对焊管 133.4 毫米（5.25 英寸）
WGMXMSRR2 1/4" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMSRR4 1/2" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）
ENTEGRIS WGPM0GGT4 过滤器
ENTEGRIS WGMXMSRR2
ENTEGRIS LGMXFPSS4
ENTEGRIS WGMXMSRR2（无包装）
Entegris WG2FT1RR2 过滤器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
Entegris WG2FT1RR2 过滤器
Entegris WGMXMBRR4 过滤器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 过滤器
ENTEGRIS WGMXMSRR4 过滤器
ENTEGRIS WG3NSMSL2 过滤器
Entegris WG2FT1RR2 过滤器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
Entegris WG2FT1SS2 过滤器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 过滤器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 过滤器
ENTEGRIS WGMXMSRR4 过滤器
Entegris WG2FT1RR2 过滤器
ENTEGRIS WG3NS8RR2 过滤器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 过滤器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 过滤器
Entegris WGMXMBRR4 过滤器
ENTEGRIS WG3NS1RR2 过滤器
Entegris WG2FT1SS2 过滤器
ENTEGRIS WGMXMSRR2
ENTEGRIS LGMXFPSS4
ENTEGRIS WGMXMSRR2（无包装）
ENTEGRIS WG3NSMSL2 过滤器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS CBUG0S0S1 过滤器
ENTEGRIS WGMXMPRR4
ENTEGRIS WGMXMPSS3
ENTEGRIS WG2F02RR4
Entegris WG2FT1SS2 过滤器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS WGFGT1PR1 过滤器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WGPM0GGG2 过滤器
Gasketgard 在线垫圈过滤器是一种紧凑型全金属过滤器，可代替标准的 1/4"、3/8" 和 1/2" VCR 垫圈。
保持器便于对齐
设计用于轻松插入标准气体管线
非常适合高压和高温应用
保护关键部件免受颗粒物损坏
在世界一流的 ISO 认证设施中制造
应用
Gasketgard 在线垫片过滤器应用
用于最高 400°C (752°F) 的应用
用于保护敏感气体成分
适用于高压和高温应用
产品规格
材料： 焊接到 316L 不锈钢垫片上的烧结 316L 不锈钢过滤介质
保持器 316 不锈钢
颗粒保留： 去除所有大于 0.3 μm 直径的颗粒超过 95%
运行条件： 最大压差 1?4” P1: 5.1 MPa (51 bar, 740 psid)
1?4” P2: 10.4 MPa (104 bar, 1508 psid)
1?2” P1: 1.7 MPa (17 bar, 247 psid)
1?2” P2 : 2.9 兆帕 (29 巴, 421 psid)
最高工作温度 400°C (752°F) [惰性气体]
零件号
Gasketgard 在线垫片过滤器部件号
零件号 接头尺寸和类型 长度
WGPM0GGG2 1/4" 型 25.00 毫米（0.98 英寸）
WGPM0GGT2 1/4" 型带保持器 25.25 毫米（0.99 英寸）
WGPM0GGT4 1/2" (3/8") 型带保持器 29.50 毫米（1.16 英寸）
Gasketgard 在线垫片过滤器
Gasketgard 在线垫圈过滤器是一种紧凑型全金属过滤器，可与标准 1/4"、3/8" 和 1/2" VCR 垫圈配合使用。
合身尺寸
1/4" 1/2" 3/8"
长度
25 毫米（0.98 英寸） 25.25 毫米（0.99 英寸） 29.5 毫米（1.16 英寸）
行业
半导体 平板显示器 数据存储 引领
过程
散装气体输送 薄膜 沉积 干蚀刻 离子注入 光刻
Gasketgard 在线垫片过滤器
Gasketgard 在线垫圈过滤器是一种紧凑型全金属过滤器，可代替标准的 1/4"、3/8" 和 1/2" VCR 垫圈。
保持器便于对齐
设计用于轻松插入标准气体管线
非常适合高压和高温应用
保护关键部件免受颗粒物损坏
在世界一流的 ISO 认证设施中制造
应用
Gasketgard 在线垫片过滤器应用
用于最高 400°C (752°F) 的应用
用于保护敏感气体成分
适用于高压和高温应用
产品规格
材料： 焊接到 316L 不锈钢垫片上的烧结 316L 不锈钢过滤介质
保持器 316 不锈钢
颗粒保留： 去除所有大于 0.3 μm 直径的颗粒超过 95%
运行条件： 最大压差 1?4” P1: 5.1 MPa (51 bar, 740 psid)
1?4” P2: 10.4 MPa (104 bar, 1508 psid)
1?2” P1: 1.7 MPa (17 bar, 247 psid)
1?2” P2 : 2.9 兆帕 (29 巴, 421 psid)
最高工作温度 400°C (752°F) [惰性气体]
零件号
Gasketgard 在线垫片过滤器部件号
零件号 接头尺寸和类型 长度
WGPM0GGG2 1/4" 型 25.00 毫米（0.98 英寸）
WGPM0GGT2 1/4" 型带保持器 25.25 毫米（0.99 英寸）
WGPM0GGT4 1/2" (3/8") 型带保持器 29.50 毫米（1.16 英寸）
ENTEGRISWGPMOGGT21.00
ENTEGRISWGFGT1PR12.00过滤器
ENTEGRISWGPM0GGG210.00过滤器
EntegrisWG2FT1SS23.00过滤器
EntegrisWG2FT1SS22.00过滤器
ENTEGRISWGMXMSRR41.00过滤器
ENTEGRISWGMXMSRR22.00
EntegrisWG2FT1RR22.00过滤器
EntegrisWG2FT1RR21.00过滤器
EntegrisWG2FT1RR210.00过滤器
EntegrisWG2FT1RR210.00过滤器
ENTEGRISWGMXMSRR2（无包装）2.00
ENTEGRISWG3NSMSL22.00过滤器
ENTEGRISWG3NSMSL22.00
ENTEGRISWG3NSMSL24.00
ENTEGRISCBUG0S0S12.00过滤器
ENTEGRISWG3NS8RR21.00过滤器
ENTEGRISWGMXMPRR42.00
ENTEGRISWGMXMPSS32.00
ENTEGRISWG2F02RR42.00
ENTEGRISWGFGT1PR130.00过滤器
ENTEGRISWGPMOGGT2
ENTEGRISWGFGT1PR1过滤器
ENTEGRISWGPM0GGG2过滤器
ENTEGRISWG3NS1RR2过滤器
EntegrisWG2FT1SS2过滤器
EntegrisWG2FT1SS2过滤器
ENTEGRISWGMXMSRR4过滤器
ENTEGRISWGMXMSRR2
EntegrisWG2FT1RR2过滤器
EntegrisWG2FT1RR2过滤器
EntegrisWG2FT1RR2过滤器
EntegrisWG2FT1RR2过滤器
ENTEGRISWGMXMSRR2（无包装）
ENTEGRISWG3NSMSL2过滤器
ENTEGRISWG3NSMSL2
ENTEGRISWG3NSMSL2
ENTEGRISCBUG0S0S1过滤器
ENTEGRISWG3NS8RR2过滤器
ENTEGRISWGMXMPRR4
ENTEGRISWGMXMPSS3
ENTEGRISWG2F02RR4
ENTEGRISWGFGT1PR1过滤器
ENTEGRISWGPMOGGT2
ENTEGRISWGFGMBRR4过滤器
ENTEGRISWGFGMBRR4过滤器
ENTEGRISWGFGT1PR1过滤器
ENTEGRISWGFGT1PR1过滤器
ENTEGRISWGPM0GGT4过滤器
ENTEGRISWGPM0GGG2过滤器
ENTEGRISLGMXFPRR4
ENTEGRISWGFA21KP0过滤器
ENTEGRISWGPMOGGT2
ENTEGRISWGFGT1PR1过滤器
ENTEGRISWGPM0GGG2过滤器
ENTEGRISWG3NS1RR2过滤器
EntegrisWG2FT1SS2过滤器
EntegrisWG2FT1SS2过滤器
ENTEGRISWGMXMSRR4过滤器
ENTEGRISWGMXMSRR2
EntegrisWG2FT1RR2过滤器
EntegrisWG2FT1RR2过滤器
EntegrisWG2FT1RR2过滤器
EntegrisWG2FT1RR2过滤器
ENTEGRISWGMXMSRR2（无包装）
ENTEGRISWG3NSMSL2过滤器
ENTEGRISWG3NSMSL2
ENTEGRISWG3NSMSL2
ENTEGRISCBUG0S0S1过滤器
ENTEGRISWG3NS8RR2过滤器
ENTEGRISWGMXMPRR4
ENTEGRISWGMXMPSS3
ENTEGRISWG2F02RR4
ENTEGRISWGFGT1PR1过滤器
ENTEGRISWGPMOGGT2
ENTEGRISWGFGMBRR4过滤器
ENTEGRISWGFGMBRR4过滤器
ENTEGRISWGFGT1PR1过滤器
ENTEGRISWGFGT1PR1过滤器
ENTEGRISWGPM0GGT4过滤器
ENTEGRISWGPM0GGG2过滤器
ENTEGRISLGMXFPRR4
ENTEGRISWGFA21KP0过滤器
CN3HF2E06，CN3HF3E06，CN3HF4E06，CN3HM4E06，CN5001E06，CN5001ES1，CN5001EZ6，CN5001T06，CN5001V06，CN5002E06，CN5002ES1，CN5003E06，CN5003ES1，CN5003T06，CN5003V06，CN5051E06，CN5051T06，CN5071E06，CN5071S06，CN5071T06，CN5072E06，CN5072V06，CN5073E06，CN5073T06，CN5073V06，CN5074T06，CN5074V06，CN50F1E06，CN50F1ES1，CN50F2E06，CN50F3E06，CN50F3ES1，CN50F4E06，CN50M4E06，CN50M4S06，CN50M4T06，CN50M4V06，CN6HF4E06，CR0101006，CR0101E06，CR0101T06，CR0101V06，CR0102006，CR0102T06，CR0102V06，CR0103006，CR0103T06，CR0104006，CR0104V06，CR0151006，CR0152006，CR0153006，CR0153T06，CR0153V06，CR0154006，CR0154T06，CR0154V06，CR0171006，CR0171E06，CR0171T06，CR0172006，CR0172E06，CR0172T06，CR0173006，CR0173E06，CR0173T06，CR0174006，CR0174E06，CR01F1006，CR01F1P06，CR01F2006，CR01F2C06，CR01F2P06，CR01F3006，CR01F3P06，CR01F3V06，CR01F4006，CR01F4P06，CR01M0203，CR0301006，CR0301E06，CR0301T06，CR0302006，CR0303006，CR0351006，CR0354V06，CR0371006，CR0371E06，CR0372006，CR0372E06，CR0373006，CR0373T06，CR0374006，CR03F1006，CR03F1P06，CR03F2006，CR03F2P06，CR03F3006，CR03F3P06，CR03F4006，CR03F4P06，CR03M0203，CR0501006，CR0501E06，CR0501T06，CR0501V06，CR0502006，CR0503006，CR0503V06，CR0504006，CR0504E06，CR0552006，CR0553006，CR0554V06，CR0571006，CR0571E06，CR0571T06，CR0572006，CR0572T06，CR0573006，CR0573E06，CR0573T06，CR0574006，CR05F1006，CR05F1P06，CR05F2006，CR05F2P06，CR05F2V06，CR05F3006，CR05F3P06，CR05F4006，CR05F4P06，CR05M0203，
CR1001006，CR1001T06，CR1002006，CR1002T06，CR1002V06，CR1003006，CR1003V06，CR1004006，CR1053006，CR1054V06，CR1071006，CR1071E06，CR1071T06，CR1072006，CR1072T06，CR1072V06，CR1073006，CR1073T06，CR1073V06，CR1074006，CR10F1006，CR10F1P06，CR10F1T06，CR10F2006，CR10F2C06，CR10F2P06，CR10F3006，CR10F3P06，CR10F4006，CR10F4P06，CR10M0203，CR2501006，CR2501T06，CR2501V06，CR2502006，CR2503006，CR2553V06，CR2571006，CR2571T06，CR2572006，CR2572E06，CR2572T06，CR2573006，CR2573V06，CR2574006，CR25F1006，CR25F1P06，CR25F2006，CR25F2P06，CR25F3006，CR25F3P06，CR25F4006，CR25F4P06，CR25M0203，CR5001006，CR5001T06，CR5001V06，CR5002006，CR5003006，CR5071006，CR5072006，CR5073006，CR50F1006，CR50F2006，CR50F3006，CR50F4006，CR50M0203，CR7501006，CR7502006，CR7503006，CR7571006，CR7572006，CR7573006，CR75F1006，CR75F1P06，CR75F2006，CR75F3006，CR75F4006，CR75M0203，CR9901006，CR9902006，CR9903006，CR9951006，CR9971006，CR9971T06，CR9971V06，CR9972006，CR9973006，CR99F1006，CR99F2006，CR99F3006，CR99F3P06，CR99F4006，CR99M0203，CRA501006，CRA501T06，CRA501V06，CRA502006，CRA502T06，CRA503006，CRA503T06，CRA504006，CRA551006，CRA552006，CRA553006，CRA554V06，CRA571006，CRA572006，CRA573006，CRA573E06，CRA573T06，CRA573V06，CRA574006，CRA5F1006，CRA5F1C06，CRA5F1P06，CRA5F2006，CRA5F2C06，CRA5F2P06，CRA5F3006，CRA5F3P06，CRA5F4006，CRA5F4P06，CRA5M0203，CFDVUPXSF，CFDZUPXSF
，、
CPUV01P01，CPUV01PLT，CPUV0SP01，CPUZ01P01，CPUZ01PLT，CPUZ0SP01，CTDAATXTW，CTDGATXLH，CTDGATXST，CTDGATXTH，CTDGATXTT，CTDGATXTW，CTDVATXLH，CTDVATXST，CTDVATXTH，CTDVATXTT，CTDZATXLH，CTDZATXST，CTDZATXTH，CTDZATXTT，CTFA01P01，CTFA01PTF，CTFA01TPE，CTFA02P01，CTFA02TPE，CTFA0SP01，CTFA0SPSF，CTFA0STPE，CTFG01P01，CTFG01PSF，CTFG01PT1，CTFG01PTF，CTFG01TC1，CTFG01TK1，CTFG01TPE，CTFG02P01，CTFG02TPE，CTFG03TPE，CTFG0SP01，CTFG0SPSF，CTFG0SPTF，CTFG0STPE，CTFH01PTF，CTFH01TPE，CTFH02TPE，CTFH03TPE，CTFH0STPE，CTFV01P01，CTFV01PSF
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Entegris WG2FT1RR2 过滤器
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ENTEGRIS WGFGMBRR4 过滤器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 过滤器
Entegris WGMXMBRR4 过滤器
ENTEGRIS WG3NS1RR2 过滤器
Entegris WG2FT1SS2 过滤器
ENTEGRIS WGMXMSRR2
ENTEGRIS LGMXFPSS4
ENTEGRIS WGMXMSRR2（无包装）
ENTEGRIS WG3NSMSL2 过滤器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS CBUG0S0S1 过滤器
ENTEGRIS WGMXMPRR4
ENTEGRIS WGMXMPSS3
ENTEGRIS WG2F02RR4
Entegris WG2FT1SS2 过滤器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS WGFGT1PR1 过滤器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WGPM0GGG2 过滤器
Entegris WG2FT1RR2 过滤器
Entegris WG2FT1RR2 过滤器
Entegris WG2FT1RR2 过滤器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WGPM0GGT4 过滤器
ENTEGRIS WGPM0GGG2 过滤器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 过滤器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 过滤器
ENTEGRIS WGMXMSRR4 过滤器
Entegris WG2FT1RR2 过滤器
ENTEGRIS WG3NS8RR2 过滤器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 过滤器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 过滤器
Entegris WGMXMBRR4 过滤器
ENTEGRIS WG3NS1RR2 过滤器
Entegris WG2FT1SS2 过滤器
ENTEGRIS WGMXMSRR2
ENTEGRIS LGMXFPSS4
ENTEGRIS WGMXMSRR2（无包装）
ENTEGRIS WG3NSMSL2 过滤器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS CBUG0S0S1 过滤器
ENTEGRIS WGMXMPRR4
ENTEGRIS WGMXMPSS3
ENTEGRIS WG2F02RR4
Entegris WG2FT1SS2 过滤器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS WGFGT1PR1 过滤器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WGPM0GGG2 过滤器
Entegris WG2FT1RR2 过滤器
Entegris WG2FT1RR2 过滤器
Entegris WG2FT1RR2 过滤器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WGPM0GGT4 过滤器
ENTEGRIS WGPM0GGG2 过滤器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 过滤器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 过滤器
ENTEGRIS WGMXMSRR4 过滤器
Entegris WG2FT1RR2 过滤器
ENTEGRIS WG3NS8RR2 过滤器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 过滤器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 过滤器
Entegris WGMXMBRR4 过滤器
ENTEGRIS WG3NS1RR2 过滤器
Entegris WG2FT1SS2 过滤器
ENTEGRIS WGMXMSRR2
ENTEGRIS LGMXFPSS4
ENTEGRIS WGMXMSRR2（无包装）
ENTEGRIS WG3NSMSL2 过滤器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS CBUG0S0S1 过滤器
ENTEGRIS WGMXMPRR4
ENTEGRIS WGMXMPSS3
ENTEGRIS WG2F02RR4
Entegris WG2FT1SS2 过滤器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS WGFGT1PR1 过滤器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WGPM0GGG2 过滤器
Entegris WG2FT1RR2 过滤器
Entegris WG2FT1RR2 过滤器
Entegris WG2FT1RR2 过滤器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRISWGPMOGGT2
ENTEGRISWGFGT1PR1
EntegrisWG2FT1SS2
EntegrisWG2FT1SS2
ENTEGRISWGMXMSRR4
ENTEGRISWGMXMSRR2
EntegrisWG2FT1RR2
EntegrisWG2FT1RR2
ENTEGRISWGMXMSRR2（无包装）
ENTEGRISWG3NSMSL2
ENTEGRISWG3NSMSL2
ENTEGRISWG3NSMSL2
ENTEGRISCBUG0S0S1
ENTEGRISWG3NS8RR2
ENTEGRISWGMXMPRR4
ENTEGRISWGMXMPSS3
ENTEGRISWG2F02RR4
ENTEGRISWGFGT1PR1
ENTEGRISWGPMOGGT2
最先进的外壳组件通过最小化焊接面积来消除除气
全金属结构非常适合高温和动态压力应用
紧凑的尺寸和灵活的配件选择提供了极高的设计效率并最大限度地降低了工程成本
应用
Wafergard III NF Mini/Mini XL 在线气体过滤器应用
超纯气体管线
高温和动压应用
惰性和反应性气体
气柜和面板
阀组箱
挂钩
注意：不建议与 CO、O 3和低含量氢化物掺杂剂气体一起使用
产品规格
材料 滤膜 镍
外壳，端盖 低硫316L不锈钢
初始下游清洁度 ≤0.03 个颗粒/升（≤1 个颗粒/ft 3） ≥0.01 μm
移除等级 ≥0.0015 微米
颗粒保留 Greater than 99.9999999% (9 LRV) removal of all particles at 60 slm (Mini) and 120 slm (Mini XL): referenced at the most penetrating particle size
Surface finish interior ≤ 5 μin Ra
Helium leak rating Tested 9 × 10-10 Pa m3c (9 × 10-9 atm ccc)
Maximum conditions Maximum operating pressure: 16.2 MPa (162 bar, 2346 psid) at 20°C (68°F)
Maximum forward/reverse differential pressure: 3.3 MPa (33 bar, 485 psid) @RT
Maximum design temperature: Inert gases: 400°C (725°F)
Flow rating Refer to performance data
零件号
Wafergard III NF Mini/Mini XL 在线气体过滤器部件号
零件号 接头尺寸和类型 长度
WG3NS1RR2 1/4" 垫片密封（与 VCR 接头兼容）外螺纹入口/出口 84.1 毫米（3.31 英寸）
WG3NS2RR2 1/4" 垫片密封（与 VCR 接头兼容）外螺纹入口/出口 127.0 毫米（5.00 英寸）
WG3NS2RR4 1/2" 垫片密封（与 VCR 接头兼容）外螺纹入口/出口 133.3 毫米（5.25 英寸）
ENTEGRIS YY260103P 14381 滤壳
ENTEGRIS PN2H010E1 14380 滤芯
ENTEGRIS YY260103P 14381 滤壳
ENTEGRIS PN2H010E1 14380 滤芯
Entegris WGFGT1PR1 12027 过滤器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 过滤器
ENTEGRIS WG2F15HJJ6 21344 滤芯
ENTEGRIS YY260103P 14381 滤壳
ENTEGRIS PN2H010E1 14380 滤芯
ENTEGRIS WGPMOGGT2 11700
ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 过滤器
ENTEGRIS LGMXFPRR4 21160
ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 过滤器
Entegris WG2SS8RR2 16378 过滤器
Entegris WG3NS6RR2 16379 过滤器
Entegris WG2SS8RR2 16378 过滤器
Entegris WG3NS6RR2 16379 过滤器
ENTEGRIS WG3NS1RR2 17377 过滤器
ENTEGRIS WG3NS2RR4 17378 过滤器
ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 过滤器
ENTEGRIS WGPMOGGT2 11700
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 过滤器
ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 过滤器
ENTEGRIS WGPMOGGT2 11700 过滤器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 过滤器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 过滤器
ENTEGRIS WGPMOGGT4 16351 过滤器
ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 过滤器
Entegris WGFGMBRR4 12026
Entegris CR4-2C-6F-3 17668 气动阀
Entegris WGPM0GGG2 13134 过滤器
Entegris WG2FT1SS2 17868 过滤器
ENTEGRIS WGPMOGGT2 11700 过滤器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 过滤器
ENTEGRIS XX67000WH 12232 过滤器
ENTEGRIS WGGB01KAN 12231 气体过滤器
ENTEGRIS WGFG01KL0 12230 过滤器
ENTEGRIS PLMV-K12 20499 阀
ENTEGRIS PLMV-K04 20460 阀
ENTEGRIS PLMV-K16 20461 阀
ENTEGRIS PLPV-K04 20463 阀
ENTEGRIS PLPV-K08 20464 阀
ENTEGRIS PLPV-K12 20500 阀
ENTEGRIS PLPV-K16 20465 阀
entegris WGFGMBRR4 12026 过滤器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 过滤器
ENTEGRIS WGPMOGGT4 16351 过滤器
ENTEGRIS XX67000WH 12232 过滤器
ENTEGRIS WGGB01KAN 12231 过滤器
ENTEGRIS WGFG01KL0 12230 过滤器
ENTEGRIS CR8-2CT-12FF-3 16417 阀
ENTEGRIS DS12-2C-16F-3 16071 侦测器
ENTEGRIS DS12-2C-16F-3 16071 气动阀
ENTEGRIS YY260103N 17526 过滤器
ENTEGRIS WGMXMBRR4 15235 过滤器
ENTEGRIS CTFV01P01KPW 18139 滤芯
ENTEGRIS DS12-2C-16F-3 13085331 18609 气动阀
ENTEGRIS WG3NS2RR4 17378 过滤器
ENTEGRIS WGMXMSRR4 19876 过滤器
ENTEGRIS WGMXMBRR4 15235 过滤器
ENTEGRIS CR8-2CT-12FF-3 16417 气动阀
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 过滤器
entegris WGFGT1PR1 12027 过滤器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 过滤器
Entegris WG2FT1RR2 20415 过滤器
Entegris WG2FT1RR2 20415 过滤器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 过滤器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 过滤器
ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 过滤器
ENTEGRIS WGPM0GGG2 13134 过滤器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 过滤器
Entegris WG2FT1RR2 20415 过滤器
ENTEGRIS WGPM0GGG2 13134 过滤器
ENTEGRIS WGPM0GGG2 13134 过滤器
ENTEGRIS WGPMOGGT2 11700 过滤器
ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 过滤器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 过滤器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 过滤器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 过滤器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 过滤器
ENTEGRIS WGPM0GGG2 13134 过滤器
Entegris CWFV0S1S3 19143 滤芯
Entegris WG2FT1RR2 20415 过滤器
Entegris WGPM0GGT4 12028 过滤器
Entegris WGMXMBRR4 15235 过滤器
Entegris WGFG02PR1 15957 过滤器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 过滤器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 过滤器
ENTEGRIS WG2F02RR2 20483
Entegris YY5032PS1 20649 过滤器
Entegris SVTH01TQ1 20007 过滤器
Entegris YY5032PS1 20649
Entegris WGFG21KP0 20840
Entegris WGFG21KP0 20840
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 过滤器
ENTEGRIS WGFG50PR1 20215 过滤器
ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 过滤器
ENTEGRIS WGPMOGGT2 11700
ENTEGRIS WG2F15HJJ6 21344
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 过滤器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 过滤器
ENTEGRIS WGFG50PR1 20215 过滤器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 过滤器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 过滤器
ENTEGRIS WG3NS2RR4 17378 过滤器
Entegris WFRGD3 NF-30 3.3 IN LG WG3NS6RR2 21440 过滤器
ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 过滤器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 过滤器
ENTEGRIS WGPM0GGG2 13134 过滤器
ENTEGRIS WGPMOGGT2 11700
ENTEGRIS WGPMOGGT2 11700
ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 过滤器
Entegris WG2SS8RR2 16378 过滤器
ENTEGRIS LGMXFPRR4 21160 过滤器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 过滤器
ENTEGRIS LGMXFPRR4 21160 过滤器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 过滤器
Entegris WG2FT1RR2 20415 过滤器
ENTEGRIS WGPMOGGT2 11700
ENTEGRIS WGFG01DS0 21000 过滤器
Entegris WG2FT1RR2 20415 过滤器
Entegris WG2FT1RR2 20415 过滤器
Entegris WG2FT1RR2 20415 过滤器
ENTEGRIS CN2501E6 19924 滤芯
Entegris WGFGT1PR1 12027 过滤器
ENTEGRIS WGPMOGGT4 16351 过滤器
ENTEGRIS CN2501E06 19921 滤芯
ENTEGRIS WG2SS8RR2 16378 过滤器
ENTEGRIS CN2501E6 19924 滤芯
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 过滤器
ENTEGRIS WGMXMBRR4 15235 过滤器
ENTEGRIS WGFG01DSH 20395 过滤器
ENTEGRIS WGPM0GGG2 13134 过滤器
ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 过滤器
ENTEGRIS WGPMOGGT2 11700
ENTEGRIS WGPMOGGT2 11700 过滤器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 过滤器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 过滤器
ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 过滤器
ENTEGRIS DS12-2C-16F-3 16071 气动阀
ENTEGRIS WGMXMBRR2 20616
ENTEGRIS WGFG01DS0（一包十个） 17994 滤芯
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 过滤器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 过滤器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 过滤器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 过滤器
ENTEGRIS LGMXFPRR4 21160
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 过滤器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 过滤器
ENTEGRIS YY260103P 14381 滤壳
ENTEGRIS PN2H010E1 14380 滤芯
ENTEGRIS YY260103P 14381 滤壳
ENTEGRIS PN2H010E1 14380 滤芯
Entegris WGFGT1PR1 12027 过滤器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 过滤器
ENTEGRIS WG2F15HJJ6 21344 滤芯
ENTEGRIS YY260103P 14381 滤壳
ENTEGRIS PN2H010E1 14380 滤芯
ENTEGRIS WGPMOGGT2 11700
ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 过滤器
ENTEGRIS LGMXFPRR4 21160
ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 过滤器
Entegris WG2SS8RR2 16378 过滤器
Entegris WG3NS6RR2 16379 过滤器
Entegris WG2SS8RR2 16378 过滤器
Entegris WG3NS6RR2 16379 过滤器
ENTEGRIS WG3NS1RR2 17377 过滤器
ENTEGRIS WG3NS2RR4 17378 过滤器
ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 过滤器
ENTEGRIS WGPMOGGT2 11700
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 过滤器
ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 过滤器
ENTEGRIS WGPMOGGT2 11700 过滤器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 过滤器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 过滤器
ENTEGRIS WGPMOGGT4 16351 过滤器
ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 过滤器
Entegris WGFGMBRR4 12026
Entegris CR4-2C-6F-3 17668 气动阀
Entegris WGPM0GGG2 13134 过滤器
Entegris WG2FT1SS2 17868 过滤器
ENTEGRIS WGPMOGGT2 11700 过滤器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 过滤器
ENTEGRIS XX67000WH 12232 过滤器
ENTEGRIS WGGB01KAN 12231 气体过滤器
ENTEGRIS WGFG01KL0 12230 过滤器
ENTEGRIS PLMV-K12 20499 阀
ENTEGRIS PLMV-K04 20460 阀
ENTEGRIS PLMV-K16 20461 阀
ENTEGRIS PLPV-K04 20463 阀
ENTEGRIS PLPV-K08 20464 阀
ENTEGRIS PLPV-K12 20500 阀
ENTEGRIS PLPV-K16 20465 阀
entegris WGFGMBRR4 12026 过滤器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 过滤器
ENTEGRIS WGPMOGGT4 16351 过滤器
ENTEGRIS XX67000WH 12232 过滤器
ENTEGRIS WGGB01KAN 12231 过滤器
ENTEGRIS WGFG01KL0 12230 过滤器
ENTEGRIS CR8-2CT-12FF-3 16417 阀
ENTEGRIS DS12-2C-16F-3 16071 侦测器
ENTEGRIS DS12-2C-16F-3 16071 气动阀
ENTEGRIS YY260103N 17526 过滤器
ENTEGRIS WGMXMBRR4 15235 过滤器
ENTEGRIS CTFV01P01KPW 18139 滤芯
ENTEGRIS DS12-2C-16F-3 13085331 18609 气动阀
ENTEGRIS WG3NS2RR4 17378 过滤器
ENTEGRIS WGMXMSRR4 19876 过滤器
ENTEGRIS WGMXMBRR4 15235 过滤器
ENTEGRIS CR8-2CT-12FF-3 16417 气动阀
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 过滤器
entegris WGFGT1PR1 12027 过滤器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 过滤器
Entegris WG2FT1RR2 20415 过滤器
Entegris WG2FT1RR2 20415 过滤器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 过滤器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 过滤器
ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 过滤器
ENTEGRIS WGPM0GGG2 13134 过滤器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 过滤器
Entegris WG2FT1RR2 20415 过滤器
ENTEGRIS WGPM0GGG2 13134 过滤器
ENTEGRIS WGPM0GGG2 13134 过滤器
ENTEGRIS WGPMOGGT2 11700 过滤器
ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 过滤器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 过滤器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 过滤器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 过滤器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 过滤器
ENTEGRIS WGPM0GGG2 13134 过滤器
Entegris CWFV0S1S3 19143 滤芯
Entegris WG2FT1RR2 20415 过滤器
Entegris WGPM0GGT4 12028 过滤器
Entegris WGMXMBRR4 15235 过滤器
Entegris WGFG02PR1 15957 过滤器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 过滤器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 过滤器
ENTEGRIS WG2F02RR2 20483
Entegris YY5032PS1 20649 过滤器
Entegris SVTH01TQ1 20007 过滤器
Entegris YY5032PS1 20649
Entegris WGFG21KP0 20840
Entegris WGFG21KP0 20840
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 过滤器
ENTEGRIS WGFG50PR1 20215 过滤器
ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 过滤器
ENTEGRIS WGPMOGGT2 11700
ENTEGRIS WG2F15HJJ6 21344
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 过滤器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 过滤器
ENTEGRIS WGFG50PR1 20215 过滤器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 过滤器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 过滤器
ENTEGRIS WG3NS2RR4 17378 过滤器
Entegris WFRGD3 NF-30 3.3 IN LG WG3NS6RR2 21440 过滤器
ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 过滤器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 过滤器
ENTEGRIS WGPM0GGG2 13134 过滤器
ENTEGRIS WGPMOGGT2 11700
ENTEGRIS WGPMOGGT2 11700
ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 过滤器
Entegris WG2SS8RR2 16378 过滤器
ENTEGRIS LGMXFPRR4 21160 过滤器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 过滤器
ENTEGRIS LGMXFPRR4 21160 过滤器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 过滤器
Entegris WG2FT1RR2 20415 过滤器
ENTEGRIS WGPMOGGT2 11700
ENTEGRIS WGFG01DS0 21000 过滤器
Entegris WG2FT1RR2 20415 过滤器
Entegris WG2FT1RR2 20415 过滤器
Entegris WG2FT1RR2 20415 过滤器
ENTEGRIS CN2501E6 19924 滤芯
Entegris WGFGT1PR1 12027 过滤器
ENTEGRIS WGPMOGGT4 16351 过滤器
ENTEGRIS CN2501E06 19921 滤芯
ENTEGRIS WG2SS8RR2 16378 过滤器
ENTEGRIS CN2501E6 19924 滤芯
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 过滤器
ENTEGRIS WGMXMBRR4 15235 过滤器
ENTEGRIS WGFG01DSH 20395 过滤器
ENTEGRIS WGPM0GGG2 13134 过滤器
ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 过滤器
ENTEGRIS WGPMOGGT2 11700
ENTEGRIS WGPMOGGT2 11700 过滤器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 过滤器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 过滤器
ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 过滤器
ENTEGRIS DS12-2C-16F-3 16071 气动阀
ENTEGRIS WGMXMBRR2 20616
ENTEGRIS WGFG01DS0（一包十个） 17994 滤芯
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 过滤器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 过滤器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 过滤器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 过滤器
ENTEGRIS LGMXFPRR4 21160
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 过滤器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 过滤器
ENTEGRIS YY260103P 14381 滤壳
ENTEGRIS PN2H010E1 14380 滤芯
ENTEGRIS YY260103P 14381 滤壳
ENTEGRISWGPMOGGT2
ENTEGRISWGFGMBRR4
ENTEGRISWGFGT1PR1
ENTEGRISWGPM0GGT4
ENTEGRISWGPM0GGG2
ENTEGRISWGPM0GGG2
ENTEGRISWG2F02RR2
ENTEGRISWG2F02RR2
EntegrisWFRGD3 NF-30 3.3 IN LG WG3NS6RR2
ENTEGRISWG3NS8RR2
ENTEGRISWGFGMBRR2
ENTEGRIS WGPM0GGT4 过滤器
ENTEGRIS WGPM0GGG2 过滤器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 过滤器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 过滤器
ENTEGRISWGMXMSRR2
ENTEGRISLGMXFPSS4
ENTEGRISWGMXMSRR2（无包装）
ENTEGRISWGPMOGGT2
EntegrisWGMXMBRR4过滤器
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ENTEGRISWGMXMPRR4
美国ENTEGRIS英特格Optimizer? DI 过滤器,CBUG0S0S1
?专为使用点?(PoU)?光刻工艺中的去离子水应用而设计的液体光化学过滤器。小胶囊形状系数和干净的膜/支撑/壳材料在?>?28?nm?节点应用中提供高纯度污染物去除性能。
应用
Optimizer?DI?过滤器应用
行业：半导体（光刻）
化学：光化学、溶剂
安装点：工具点
产品规格
材料 膜： UPE*
? 支撑、核心、套筒： 高密度聚乙烯
? 住房： 聚丙烯
膜面积 DI 1800?平方厘米（1.94?平方英尺）
? DI-L 3600?平方厘米（3.88?平方英尺）
? DI-L?(20?纳米) 2100?平方厘米（2.26?平方英尺）
保留评级 DI,?DI-L 0.2、0.1、0.05?微米、20?纳米
配件 提供范围广泛的接头，包括?Super?Type?Pillar?接头、压缩密封件（与?Swagelok?兼容的接头）和?Flaretek?接头。
运行条件 最大入口压力 0.345?兆帕（3.45?巴，50?磅/平方英寸，3.52?千克/平方厘米）@?25°C?(77°F)
? 最大正向/反向压差 0.345?兆帕（3.45?巴，50?磅/平方英寸，3.52?千克/平方厘米）@?25°C?(77°F)
? ? 0.28?MPa（2.8?bar，40?psi，2.8?kg/cm2）@?25°C（77°F）
? 工作温度 60°C?(140°F)
*表面改性UPE
Entegris?建议客户至少每年更换一次过滤器以确保最佳过滤性能。例行的年度更换也将减少因过度使用而导致化学品泄漏的可能性。
我们的标准保修期为?1?年（自?Entegris?发货之日起）。
ENTEGRISWGMXMSRR2
ENTEGRISLGMXFPSS4
ENTEGRISWGMXMSRR2（无包装）
ENTEGRISWGPMOGGT2
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